真空微电子学及其应用

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  • 【作者】王保平 主编
  • 【关键词】真空电子技术:微电子技术
  • 【出版社】东南大学出版社
  • 【出版日期】2002
  • 【ISBN】7-81050-915-2
  • 【中图分类号】 TN4
  • 【内容简介】真空微电子学是一门新兴交叉学科,涉及到真空电子学、微电子学、薄膜技术和材料科学等多门学科和技术。本书从真空微电子学的形成、发展历史和最新动态出发,系统地介绍了真空微电子学的物理基础,即场致发射理论和其他相关物理原理,详细地讨论了微细结构制造技术、真空微电子器件工作特性的数值模拟和器件结构设计,着重阐述了真空微电子学的应用及其对未来电子学发展的巨大影响。全部展开
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    嘉兴市图书馆

  • 【获取途径】
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