匠“芯”独运 集成电路的制造

收藏
  • 【作者】俞少峰 [等]编著
  • 【关键词】集成电路工艺
  • 【出版社】上海科学普及出版社
  • 【出版日期】2022.10
  • 【ISBN】978-7-5427-8274-8
  • 【中图分类号】 TN405-49
  • 【内容简介】本书主要介绍集成电路的制造。集成电路制造是半导体产业链中关键的一环,承上继下,起着极为重要的作用,同时也面临各种挑战。本册对集成电路制造产业链各个环节的工作内容做了简明扼要的介绍,由复旦大学微电子学院的几位教授共同编著而成,包括了芯片介绍、芯片制造工艺整合制程、光刻工艺技术、材料刻蚀技术、薄膜制备技术、化学机械抛光技术、掺杂工艺技术和封装工艺技术。全部展开
  • 【页码】135页
  • 【丛书名】“芯”路丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    临海市图书馆 台州市椒江区图书馆 天台县图书馆 温岭市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
已保存的题录(0)
选出输出字段:
加载保存列表...
清空文件夹
注:
通过勾选,使对应参与检索,从而可以轻松获得更全面的检索结果。