图解入门 半导体制造设备基础与构造精讲

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  • 【作者】(日)佐藤淳一 著;卢涛
  • 【关键词】半导体工艺
  • 【出版社】机械工业出版社
  • 【出版日期】2022
  • 【ISBN】978-7-111-70801-8
  • 【中图分类号】 TN305-64
  • 【内容简介】本书向读者展现了半导体制造工艺中使用的设备基础和构造。全书涵盖了半导体制造设备的现状以及展望,同时对清洗和干燥设备、离子注入设备、热处理设备、光刻设备、蚀刻设备、成膜设备、平坦化设备、监测和分析设备、后段制程设备等逐章进行解说。全部展开
  • 【页码】16,198页
  • 【丛书名】集成电路科学与技术丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    台州市图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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