硅加工中的表征

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  • 【作者】Yale E. Strausser 主编
  • 【关键词】半导体工艺
  • 【出版社】哈尔滨工业大学出版社
  • 【出版日期】2014
  • 【ISBN】978-7-5603-4280-1
  • 【中图分类号】 TN305
  • 【内容简介】本书共分六章,内容包括:材料表征技术在硅外延生长中的应用;多晶硅导体;硅化物;铝和铜基导线;级钨基导体;阻隔性薄膜。全部展开
  • 【页码】15,240页页
  • 【丛书名】材料表征原版系列丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    宁波图书馆 温州市图书馆 绍兴图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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