飞秒激光微器件制备质量优化技术研究

收藏
  • 【作者】潘雪涛
  • 【关键词】飞秒激光 激光加工 质量控制 研究
  • 【出版社】江苏大学出版社
  • 【出版日期】2020
  • 【ISBN】978-7-5684-1302-2
  • 【中图分类号】 TG665
  • 【内容简介】全书共分为七章,内容包括飞秒激光微加工领域国内外研究的现状、飞秒激光双光子微加工机理及系统、空气和被加工材料折射率不同对微加工的影响及其补偿方法、飞秒激光微加工焦点光斑的三维整形、扫描步距对微器件表面质量的影响及其优化方法等。全部展开
  • 【页码】160页
  • 【丛书名】光电材料器件测试及控制技术系列丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
已保存的题录(0)
选出输出字段:
加载保存列表...
清空文件夹
注:
通过勾选,使对应参与检索,从而可以轻松获得更全面的检索结果。