化合物半导体加工中的表征

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  • 【作者】C.Richard Brundle [等主编;]
  • 【关键词】化合物半导体
  • 【出版社】哈尔滨工业大学出版社
  • 【出版日期】2014
  • 【ISBN】978-7-5603-4281-8
  • 【中图分类号】 TN304.2
  • 【内容简介】本书讨论了各种表征技术,深入了解每种技术是如何单独或结合使用来解决与材料相关的问题。本书有助于选择并应用适当的分析技术在材料与设备加工的各个阶段,如:基体处理、外延生长、绝缘膜沉积、接触组、掺杂剂的引入。全部展开
  • 【页码】16,199页页
  • 【丛书名】材料表征原版系列丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    宁波图书馆 绍兴图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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