薄膜的设计、制备及应用

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  • 【作者】王月花 主编
  • 【关键词】薄膜技术
  • 【出版社】中国矿业大学出版社
  • 【出版日期】2015
  • 【ISBN】978-7-5646-2987-8
  • 【中图分类号】 TB43
  • 【内容简介】本书以薄膜材料为中心,系统地介绍了薄膜技术中常用的真空技术基础知识,各种物理和化学气相沉积技术和方法,薄膜材料的形核及生长理论,薄膜材料微观结构的形成以及薄膜材料的厚度、微观结构和成分的表征方法等。在此基础上,本书还有选择地讨论了薄膜材料在力学、光电子学、磁学等领域的典型应用实例,其中涉及各种机械防护涂层、金刚石膜、光电子器件、集成光学器件、磁记录及光记录介质材料等技术。全部展开
  • 【页码】215页页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    宁波图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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