半导体芯片制造技术

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  • 【作者】杜中一 主编
  • 【关键词】芯片 芯片 半导体工艺
  • 【出版社】电子工业出版社
  • 【出版日期】2012
  • 【ISBN】978-7-121-15396-9
  • 【中图分类号】 TN430.5
  • 【内容简介】本书介绍了半导体芯片制造技术,内容包括半导体芯片制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积等。全部展开
  • 【页码】152页页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    杭州图书馆 滨江区图书馆分馆 宁波市北仑区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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