薄膜技术与应用

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  • 【作者】冯丽萍刘正堂 编著
  • 【关键词】薄膜技术
  • 【出版社】西北工业大学出版社
  • 【出版日期】2016
  • 【ISBN】978-7-5612-4739-6
  • 【中图分类号】 TB43
  • 【内容简介】本书主要内容包括真空技术基础、真空蒸发镀膜、分子束外延生长、溅射镀膜、激光脉冲沉积、离子镀和离子束沉积、化学气相沉积、原子层沉积镀膜、溶液镀膜法和自组装膜等。全部展开
  • 【页码】222页
  • 【丛书名】西北工业大学研究生高水平课程体系建设丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    绍兴图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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