纳米加工和器件

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  • 【作者】安德鲁斯 ,肖尔斯 ,维德雷希特 编著
  • 【关键词】纳米材料 加工 英文 纳米材料 加工 设备 英文
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2012
  • 【ISBN】978-7-03-034659-9
  • 【中图分类号】 TB383
  • 【内容简介】本书内容包括: 用于在表面制备生物和有机纳米结构的扫描探针光刻技术; 电子束曝光技术制备纳米结构; 亚微米级软光刻技术; 紫外压印光刻技术在纳米加工中的发展现状等。全部展开
  • 【页码】630页
  • 【丛书名】科爱传播
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    绍兴图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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