微系统光学检测技术

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  • 【作者】(德)伏尔夫岗·奥斯腾主编;王伯雄等译
  • 【关键词】微电子技术 光学测量
  • 【出版社】机械工业出版社
  • 【出版日期】2014
  • 【ISBN】978-7-111-45837-1
  • 【中图分类号】 TB96
  • 【内容简介】微系统的尺度小,材料组合性强,功能多,对它的测量与检测构成了该领域新的挑战。书中将检测技术原理与众多应用实例相结合,介绍了微系统检测的应用光学技术,主要提供该领域中典型光学检测技术的全面回顾,包括光散射法、扫描探针显微技术、共焦显微技术、条纹投影技术、栅格和莫尔技术、干涉显微技术、激光多普勒测振技术、全息术、散斑测量术及光谱技术,同时还详述了上述技术相关数据的获取和处理方法。全部展开
  • 【页码】16,442页
  • 【丛书名】国际制造业先进技术译丛
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 温州市图书馆 温州市龙湾区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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