真空镀膜原理与技术

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  • 【作者】方应翠 主编
  • 【关键词】真空技术 镀膜
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2014
  • 【ISBN】978-7-03-039898-7
  • 【中图分类号】 TN305.8
  • 【内容简介】本书阐述了真空镀膜的应用,以及真空镀膜薄膜在基体表面生长的过程,探讨了薄膜生长的影响因素。具体介绍了真空镀膜的各种方法,包括真空蒸发镀、真空溅射镀、真空离子镀以及化学气相沉积的原理、特点、装置及应用技术等。全部展开
  • 【页码】213页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 宁波图书馆 温州市图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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