硅基氮化镓光电探测器的多层异质外延生长研究

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  • 【作者】郑益
  • 【关键词】硅基材料
  • 【出版社】江苏大学出版社
  • 【出版日期】2020
  • 【ISBN】978-7-5684-1424-1
  • 【中图分类号】 TN215
  • 【内容简介】本书为英文图书,研究了氮化铝缓冲层对氮化镓外延层表面形貌和晶体质量的影响,讨论了氮化镓异质外延生长中镓扩散到硅衬底中并溶解形成镓—硅合金的途径,终经过优化得以实现利用等离子辅助分子束外延在硅(111)衬底上生长出无微晶的光滑氮化镓外延层。作者在优化过程中发现了全部展开
  • 【页码】195页
  • 【丛书名】光电材料器件测试及控制技术系列丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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