真空镀膜技术与设备

收藏
  • 【作者】张以忱 主编
  • 【关键词】真空技术 镀膜 高等教育
  • 【出版社】冶金工业出版社
  • 【出版日期】2021
  • 【ISBN】978-7-5024-8880-2
  • 【中图分类号】 TN305.8
  • 【内容简介】本书阐述了各种真空镀膜技术的基本概念、工作原理和应用,真空镀膜结构及蒸发源,磁控靶的设计计算,薄膜厚度的测量技术,薄膜与表面分析和检测技术;重点介绍了近年来出现的一些镀膜新方法与技术,以及真空镀膜机设计计算等方面的内容。全部展开
  • 【页码】299页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
已保存的题录(0)
选出输出字段:
加载保存列表...
清空文件夹
注:
通过勾选,使对应参与检索,从而可以轻松获得更全面的检索结果。