薄膜真空沉积中的等离子体探测方法与技术

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  • 【作者】陈吉堃
  • 【关键词】低温 等离子体 研究
  • 【出版社】科学出版社
  • 【出版日期】2021
  • 【ISBN】978-7-03-069915-2
  • 【中图分类号】 O536
  • 【内容简介】本书结合作者的长期相关研究系统介绍了低温等离子体的常用探测方法;重点结合脉冲激光沉积实例对等离子体与背景气体间复杂的物理碰撞与化学反应,以及对薄膜沉积的基础性影响关系作详细介绍。全部展开
  • 【页码】148页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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