纳米集成电路FinFET器件物理与模型

收藏
  • 【作者】(美)萨马·K. 萨哈 (Samar K. Saha)著丁扣宝
  • 【关键词】纳米材料 集成电路工艺 系统建模
  • 【出版社】机械工业出版社
  • 【出版日期】2022
  • 【ISBN】978-7-111-69481-6
  • 【中图分类号】 TN405
  • 【内容简介】本书主要内容有主流MOSFET在22nm节点以下由于短沟道效应所带来的缩小限制概述;基本半导体电子学和pn结工作原理;多栅MOS电容器系统的基本结构和工作原理;非平面CMOS工艺中的FinFET器件结构和工艺技术;FinFET基本理论;FinFET小尺寸效应;FinFET泄漏电流;FinFET寄生电阻和全部展开
  • 【页码】13,238页
  • 【丛书名】集成电路科学与工程丛书
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
已保存的题录(0)
选出输出字段:
加载保存列表...
清空文件夹
注:
通过勾选,使对应参与检索,从而可以轻松获得更全面的检索结果。