第三代半导体技术与应用

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  • 【作者】姚玉洪华 主编
  • 【关键词】半导体技术
  • 【出版社】暨南大学出版社
  • 【出版日期】2021
  • 【ISBN】978-7-5668-3238-2
  • 【中图分类号】 TN3
  • 【内容简介】本书梳理了第三代半导体材料产业链的相关技术和应用,作者通过科学的体例对第三代半导体的发展历史、物理特性、晶体生长技术、外延生长技术、加工工艺、封装工艺、应用前景和发展趋势等内容进行了汇编整理。全部展开
  • 【页码】330页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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