真空镀膜技术与应用

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  • 【作者】陆峰 编著
  • 【关键词】真空技术 镀膜
  • 【出版社】化学工业出版社
  • 【出版日期】2022
  • 【ISBN】978-7-122-40245-5
  • 【中图分类号】 TN305.8
  • 【内容简介】本书共9章,阐述了真空镀膜技术应用,介绍了近代真空镀膜方法。内容包括真空蒸发镀膜,真空溅射镀膜,真空离子镀膜,离子束(辅助)沉积,化学气相沉积的原理、特点、装置及应用;还对所制备薄膜的测量技术、性能分析方法做了详细介绍。全部展开
  • 【页码】335页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 台州市黄岩区图书馆

  • 【获取途径】
联合资源统一检索系统 超星 V2.0
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