电子薄膜工艺原理

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  • 【作者】金懋昌张怀武 编著
  • 【关键词】电子材料 薄膜
  • 【出版社】电子科技大学出版社
  • 【出版日期】2021.12
  • 【ISBN】978-7-5647-8889-6
  • 【中图分类号】 TN04
  • 【内容简介】本书汇集了作者几十年来在电子薄膜生长制备方面的实践经验和技术积累,首先对薄膜生长的机理与机制性问题,如气体分子运动规律、吸附现象、等离体理论、衬底表面张应力与附着力、表面与界面物理化学处理机制、薄膜生长应力机制等方面进行了论述和分析,给出一些实例和分析手?全部展开
  • 【页码】368页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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