SOI——纳米技术时代的高端硅基材料

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  • 【作者】林成鲁 编著
  • 【关键词】 纳米材料 文集
  • 【出版社】中国科学技术大学出版社
  • 【出版日期】2009
  • 【ISBN】978-7-312-02233-3
  • 【中图分类号】 TB383-53
  • 【内容简介】本书收集了纳米技术时代的高端硅基SOI材料方面的研究论文40篇,主要内容包括:SOI——纳米技术时代的高端硅基材料进展、SOI新材料的制备科学、SOI材料与器件特有的物理效应、绝缘体上锗硅新结构和应变硅的制备科学、SOI技术的若干应用研究等。全部展开
  • 【页码】468页
  • 【丛书名】当代科学技术基础理论与前沿问题研究丛书/中国科学技术大学校友文库
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆 杭州图书馆 嘉兴市图书馆 湖州市图书馆

  • 【获取途径】 文献传递
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