薄膜体声波谐振器的原理、设计与应用

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  • 【作者】张亚非,陈达著
  • 【关键词】薄膜 声表面波谐振器
  • 【出版社】上海交通大学出版社
  • 【出版日期】2011
  • 【ISBN】978-7-313-06516-2
  • 【中图分类号】 TN62
  • 【内容简介】本书阐述了FBAR的基本原理、设计方法、关键技术及其材料体系的要求,并对FBAR的重要应用技术进行了总结概括与深入分析。全部展开
  • 【页码】174页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

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