集成电路制造技术

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  • 【作者】杜中一
  • 【关键词】集成电路工艺
  • 【出版社】化学工业出版社
  • 【出版日期】2022
  • 【ISBN】978-7-122-26284-4
  • 【中图分类号】 TN405
  • 【内容简介】本书全面、系统地介绍了集成电路制造技术,内容包括集成电路制造概述、多晶半导体的制备、单晶半导体的制备、晶圆制备、薄膜制备、金属有机物化学气相沉积、光刻、刻蚀及掺杂。书中简要介绍了集成电路制造的基本理论基础,系统地介绍了多晶半导体、单晶半导体与晶圆的制备,详细介绍了薄膜制备、光刻与刻蚀及掺杂等工艺。全部展开
  • 【页码】172页
  • 【文献类型】图书
  • 【所属馆】

    浙江图书馆

  • 【获取途径】
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