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  • 大规模集成电路(1)
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  • [图书] 等离子体刻蚀工艺及设备
  • 作者：赵晋荣
  • 出版社：电子工业出版社
  • 出版日期：2023.02
  • ISBN：978-7-121-45018-1
  • 内容简介：本书以集成电路领域中的等离子体刻蚀为切入点，介绍了等离子体基础知识、基于等离子体的刻蚀技术、等离子体刻蚀设备及其在集成电路中的应用。全书共8章，内容包括集成电路简介、等离子体基本原...
  • 丛书名：集成电路系列丛书
  • 所属馆：

    浙江图书馆

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